深圳高卓斯科技有限公司
SHENZHEN GORGEOUS TECHNOLOGY CO.,LTD.
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商品描述
全自動高剛性三軸研磨機,可實現快速無損傷加工。 加工成本低，加工精度高，實現鏡面加工。
特征
規格
| No | 類別 | HRG3000X |
| 全自動高剛性三軸研磨機 | ||
| 1 | 外觀 | 尺寸: 1750 (W) x 3525 (D) x 1978 (H) mm |
| 重量：11000 kg | ||
| 2 | 最大晶圓尺寸 (mm) | 300 |
| 3 | 磨輪直徑 (mm) | 300 |
| 4 | 磨輪轉速(rpm) | 3600 |
| 5 | 工作臺轉速(rpm) | 650 |
| 6 | 磨輪主軸功率(kw) | 11 |
| 7 | 單片總厚度偏差: TTV (μm) | 0.5 (帶自動TTV功能) |
| 8 | 片與片厚度偏差: WTW (μm) | ±0.5 (帶自動TTV功能) |
| No | 類別 | RM3000-HRG |
| 1 | 外觀 | 尺寸: 1500 (W) x 4250 (D) x 1800 (H) mm |
| 重量：1600 kg | ||
| 2 | 最大晶圓尺寸 (mm) | 300 |
| 3 | 最大切割膠膜直徑 (mm) | φ 230 (單卷寬度430 mm) |
| 4 | 最大揭膜膠帶直徑 (mm) | φ 200 (單卷寬度 50 mm) |
| 5 | 晶圓貼膜精度 | 對工作臺盤中心精度在 0.5 mm以內對框架缺口的角度偏差0.5 度以內 |
